Объединив 3D голографическую литографию и 2D-фотолитографию, исследователи продемонстрировали высокую производительность 3D-микробатареи, пригодной для интеграции с микроэлектронными устройствами.
Исследователи говорят, что такая 3D-микробатарея имеет исключительную производительность и масштабируемость и сможет использоваться во многих приложениях. Для микромасштабных приборов имеются трудности в миниатюризации устройств хранения энергии. А миниатюрные батареи высокой мощности были бы весьма желательны для многих приложений, например, автономных приводов, беспроводных датчиков и преобразователей, мониторов, портативных и имплантируемых медицинских устройств.
В этом проекте исследователи из Университета штата Иллинойс в Урбана-Шампейн разработали эффективный метод производства высокопроизводительных 3D литий-ионных микробатарей с помощью процессов, которые полностью совместимы с производством микроэлектроники. Они использовали 3D голографическую литографию для определения внутренней структуры электродов и 2D-фотолитографию для создания желаемой формы электрода. Эта работа показывает, что энергия и мощность микробатареи сильно связаны со структурными параметрами электродов, такими как размер, форма, площадь поверхности, пористость. Преимуществом нового метода является то, что все эти параметры могут легко контролироваться во время этапов литографии.
Микробатареи, в сочетании с такими материалами как олово, предлагают новые захватывающие возможности создания батарей, в том числе большой энергоёмкости и большим числом рабочих циклов.
Источник: http://engineering.illinois.edu/news/article/11092